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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
YS/T 985-2014 |
标准名称 |
硅抛光回收片 |
| 英文名称 |
Polished reclaimed silicon wafers |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
SEMI M38-0307，MOD |
| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
分
类 号 |
H80 |
国际分类号 |
29.045 |
发布日期 |
2014-10-14 |
实施日期 |
2015-04-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。 |
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