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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
YS/T 983-2014 |
标准名称 |
多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法 |
| 英文名称 |
Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
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| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
四川新光硅业科技有限责任公司 |
分
类 号 |
H17 |
国际分类号 |
77.040 |
发布日期 |
2014-10-14 |
实施日期 |
2015-04-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。本标准的检测范围为体积分数0.1%～100%。 |
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