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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
YS/T 936-2013 |
标准名称 |
集成电路器件用镍钒合金靶材 |
| 英文名称 |
Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
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| 归口单位 |
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所 |
| 起草单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
分
类 号 |
H62 |
国际分类号 |
77.150.40 |
发布日期 |
2013-10-17 |
实施日期 |
2014-03-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。 |
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