标准编号 |
YS/T 898-2013 |
标准名称 |
高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
英文名称 |
Methods for chemical analysis of the high purity tantalum—
Determination of trace impurity element content—
Inductively coupled plasma mass spectrometry |
代
替 号 |
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采用标准 |
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归口单位 |
北京有色金属研究总院、金川新材料科技股份有限公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
起草单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
分
类 号 |
H63 |
国际分类号 |
77.120.99 |
发布日期 |
2013-10-17 |
实施日期 |
2014-03-01 |
内容介绍 |
本标准规定了高纯钽中锂、铍、硼、镁、钛、钒、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、锶、锆、铌、钼、镉、锡、锑、铪、钨、铅和铋量的测定方法。
本标准适用于高纯钽中痕量杂质的测定,测定范围:0.0001%~0.010%。 |