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标准编号

  YS/T 791-2012
标准名称
  铂靶

英文名称

  Platinum target
代 替 号
  

采用标准

  

归口单位

  全国有色金属标准化技术委员会

起草单位

  有研亿金新材料股份有限公司
分 类 号
  H68
国际分类号
  77.120.99
发布日期
  2012-11-07
实施日期
  2013-03-01

内容介绍

  本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。


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