|
 现行标准检索 |
| 标准编号 |
YS/T 26-2016 |
标准名称 |
硅片边缘轮廓检验方法 |
| 英文名称 |
|
代
替 号 |
YS/T 26-1992 |
| 采用标准 |
|
| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
洛阳单晶硅集团有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
分
类 号 |
H21 |
国际分类号 |
77.040 |
发布日期 |
2016-07-11 |
实施日期 |
2017-01-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。 |
|
