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标准编号

 YS/T 24-2016
标准名称
 外延钉缺陷的检验方法

英文名称

 
代 替 号
 YS/T 24-1992

采用标准

 

归口单位

 全国有色金属标准化技术委员会

起草单位

 南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
分 类 号
 H21
国际分类号
 77.040
发布日期
 2016-04-05
实施日期
 2016-09-01

内容介绍

 本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
   本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。


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