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现行标准检索 |
标准编号 |
YS/T 24-2016 |
标准名称 |
外延钉缺陷的检验方法 |
英文名称 |
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代
替 号 |
YS/T 24-1992 |
采用标准 |
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归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
起草单位 |
南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司 |
分
类 号 |
H21 |
国际分类号 |
77.040 |
发布日期 |
2016-04-05 |
实施日期 |
2016-09-01 |
内容介绍 |
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。 本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。 |
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