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| 标准编号 |
YS/T 23-2016 |
标准名称 |
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 |
| 英文名称 |
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代
替 号 |
YS/T 23-1992 |
| 采用标准 |
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| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司 |
分
类 号 |
H21 |
国际分类号 |
77.040 |
发布日期 |
2016-04-05 |
实施日期 |
2016-09-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在<111>、<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的2μm～120μm硅外延层厚度的测量。 |
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