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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
YS/T 15-2015 |
标准名称 |
硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 |
| 英文名称 |
Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain |
代
替 号 |
YS/T 15-1991 |
| 采用标准 |
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| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司 |
分
类 号 |
H21 |
国际分类号 |
77.040 |
发布日期 |
2015-04-30 |
实施日期 |
2015-10-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。 |
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