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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
YS/T 14-2015 |
标准名称 |
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 |
| 英文名称 |
Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers |
代
替 号 |
YS/T 14-1991 |
| 采用标准 |
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| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司 |
分
类 号 |
H21 |
国际分类号 |
77.040 |
发布日期 |
2015-04-30 |
实施日期 |
2015-10-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。 |
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