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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
YS/T 1068-2015 |
标准名称 |
制备钌靶用钌粉 |
| 英文名称 |
Ruthenium powder for ruthenium sputttering target |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
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| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院 |
分
类 号 |
H68 |
国际分类号 |
77.150.99 |
发布日期 |
2015-04-30 |
实施日期 |
2015-10-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。 |
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