| 标准编号 |
YS/T 1060-2015 |
标准名称 |
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 |
| 英文名称 |
Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy——Gas chromatographic method |
代
替 号 |
|
| 采用标准 |
|
| 归口单位 |
全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司 |
分
类 号 |
H17 |
国际分类号 |
77.040.30 |
发布日期 |
2015-04-30 |
实施日期 |
2015-10-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定范围下限为0.002%。 |
现行标准检索