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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
JB/T 13872-2020 |
标准名称 |
平面相移干涉仪 |
| 英文名称 |
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代
替 号 |
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| 采用标准 |
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| 归口单位 |
全国光学和光子学标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
上海光学仪器研究所、苏州慧利仪器有限责任公司、贵阳新天光电科技有限公司等 |
分
类 号 |
N33 |
国际分类号 |
17.180.30 |
发布日期 |
2020-04-16 |
实施日期 |
2021-01-01 |
| 内容介绍 |
本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。 |
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