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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
GB/T 24582-2009 |
标准名称 |
酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 |
| 英文名称 |
Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
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| 归口单位 |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
新光硅业科技责任有限公司 |
分
类 号 |
H80 |
国际分类号 |
29.045 |
发布日期 |
2009-10-30 |
实施日期 |
2010-06-01 |
| 内容介绍 |
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