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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
GB/T 24581-2009 |
标准名称 |
低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法 |
| 英文名称 |
Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
SEMI MF 1630-0704,IDT |
| 归口单位 |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
四川新光硅业科技有限责任公司 |
分
类 号 |
H80 |
国际分类号 |
29.045 |
发布日期 |
2009-10-30 |
实施日期 |
2010-06-01 |
| 内容介绍 |
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