|
 现行标准检索 |
| 标准编号 |
GB/T 24580-2009 |
标准名称 |
重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 |
| 英文名称 |
Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry |
代
替 号 |
|
| 采用标准 |
SEMI MF 1528-1104,MOD |
| 归口单位 |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位 |
信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
分
类 号 |
H80 |
国际分类号 |
29.045 |
发布日期 |
2009-10-30 |
实施日期 |
2010-06-01 |
| 内容介绍 |
|
|
