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标准编号

  GB/T 16943-2009
标准名称
  电子工业用气体 氦

英文名称

  Gas for electronic industry - Helium
代 替 号
  GB/T 16943-1997

采用标准

  

归口单位

  全国半导体材料和设备标准化技术委员会

起草单位

  西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
分 类 号
  G86
国际分类号
  71.100.20
发布日期
  2009-10-30
实施日期
  2010-05-01

内容介绍

  


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