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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
BS EN 62047-4-2010 |
标准名称 |
半导体装置.微电机装置.微电子机械系统(MEMS)一般规格 |
| 英文名称 |
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Generic specification for MEMS |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
EN 62047-4-2010,IDT;IEC 62047-4-2008,IDT |
| 归口单位 |
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| 起草单位 |
BSI |
分
类 号 |
K24 |
国际分类号 |
31.080.01;31.220.01 |
发布日期 |
2010-11-30 |
实施日期 |
2010-11-30 |
| 内容介绍 |
元部件;机电的;材料;微电子学;微系统工艺;性能;半导体器件;规范(验收);符号;系统工程;拉伸应变;拉伸测试;测试;测试条件;测试装置;薄膜;薄膜工艺 |
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