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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
ASTM F1513-1999(2003) |
标准名称 |
电子薄膜器件用纯铝(非合金)原材料标准规范 |
| 英文名称 |
Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications |
代
替 号 |
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| 采用标准 |
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| 归口单位 |
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| 起草单位 |
F01.17 |
分
类 号 |
H61 |
国际分类号 |
31.200 (Integrated circuits. Microelectronics) |
发布日期 |
1999 |
实施日期 |
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| 内容介绍 |
电子薄膜器件;纯铝(非合金)原材料;真空电子器件;践射目标;目标;薄膜;覆层;铝电导体;蒸发;半导体 |
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