[简介]：

    2005年12月5日~7日，由全国真空技术标准化技术委员会组团参加了ISO/TC 112（国际标准化组织/真空技术委员会）在韩国首尔召开的全体大会。

    2005年12月5日~7日，由全国真空技术标准化技术委员会组团参加了ISO/TC 112（国际标准化组织/真空技术委员会）在韩国首尔召开的全体大会。团长由全国真空技术标准化技术委员会秘书长李春影担任，成员有上海曙光机械制造厂总工程师张树中、沈阳《真空》杂志社主编李玉英、全国真空技术标准化技术委员会秘书王玲玲。

    本次大会由KATS（韩国技术标准局）/ KRISS（韩国标准科学研究院）承办。

    一、会议简况

    本次大会是ISO/TC 112年会，出席会议的有德国、美国、英国、日本、泰国、瑞士、韩国、中国等八个国家的政府机构、相关学会、技术机构及大型企业的二十多名技术专家和学者。中国距第一次参加ISO/TC 112年会已整整十年。

本次会议在大会之前召开了项目组会议，与会代表对2004年工作项目商讨并达成一致意见后召开了全体大会。

    1.项目组会议

    2004年ISO/TC 112秘书处批准组建了5个项目组（PT），分别起草了5份标准草案。为提高本次大会的工作效率，秘书处安排12月5日由各项目组负责人分别召开项目组会议，就其所制订的标准草案中的技术指标及各国代表的意见进行商榷，得出一致意见。         

    项目组PT1，项目负责人是德国的Karl-Heinz Bernhardt先生，从属于德国Pfeiffer真空公司，负责起草ISO/DIS 21360真空技术－真空泵－测量真空泵性能的标准方法：概述；项目组PT2，项目负责人是列支敦士登的Hansjorg Kunzli先生，从属于UCP有限公司，负责起草ISO/WD 3669真空技术－可烘烤法兰－第2部分：刀口法兰尺寸；项目组PT3，项目组负责人是德国的Karl Jousten博士，从属于德国国家计量学院（PTB），负责起草ISO/TS 3567　真空技术－真空计－与标准真空计直接比对校准，现已做为技术规范定稿出版；项目组PT4、5，项目负责人是日本的平田正宏教授，从属于日本产业技术综合研究所（AIST），负责起草ISO/DI S 9803-1/2　真空技术－管路安装尺寸－第1部分：无刀口法兰型/第2部分：刀口法兰型；ISO/DI S 21358和真空技术－直角阀－尺寸和气动传动装置的接口。由于各项目组负责人在会前已多次征求了各成员的意见，各国代表在PT会议上经过短暂的讨论后即得出了最终意见稿。

    中国代表对上述标准草案提出的意见均已被采纳。

    2.ISO/TC 112全体大会

    12月6日召开了全体大会。ISO/TC 112秘书长Jurgen Eisenreish先生宣布会议采用ISO/TC 112　N259号会议日程草案，宣布Friedrich Justen先生继续担任ISO/TC 112新一任期的主席，指定英国标准协会（BSI）和法国标准化组织协会（AFNOR）为编辑委员会任命专家，并建议TC 112内的各项目组负责人均为编辑委员会的成员。

    秘书长Jurgen Eisenreish先生在年度工作报告中提议因ISO/TC 5（黑色金属管和金属配件）、TC 131/ SC 2（泵、马达和整体运动）、TC 146（空气质量）三个通信成员在过去一年中没有积极参与ISO/TC 112工作，且在多次联系后也未做出回复，需要对其工作进行审定。如果仍不积极参与ISO/TC 112明年的工作，将取消其通信成员资格；其它通信成员TC 10（电工用液体）、TC 118（压缩机、气动工具和气动机械）、TC 135（无损检测）将继续保留其成员资格，并继续保持与CE－Commission（通信委员会）、CERN（欧洲粒子物理研究所）、IUVSTA（国际真空科学，技术与应用联合会）、PNEUROP（欧洲测试标准）的联系。美国与德国专家表示应建立与AVS（美国真空协会）、CIPM

    （国际计量委员会）下设的CCM（质量及相关量咨询委员会）的联系，并将ISO/TC 201（表面化学分析）视为一个可发展的通信成员，与其建立联系。同时，秘书长Jurgen Eisenreish先生在年度工作报告中对ISO/TC 112各成员团体在2005年的工作成就表示赞赏，并衷心的感谢KATS（韩国技术标准局）/ KRISS（韩国标准科学研究院）为承办此次会议所做的努力；对中国、泰国代表能够出席ISO/TC 112年会，积极参与国际标准化活动结予了高度评价。

    各项目组负责人分别向与会代表通报了12月5日PT会议上对6份标准的讨论情况及决议，与会代表对各项目组的工作表示了感谢及赞同，同意ISO/DIS 21360、ISO/DI S 9803-1/2、ISO/DI S 21358全部进入下一阶段　――　提交编辑委员会成为FDIS（国际标准最终草案）文件；ISO/WD 3669转入CD（委员会草案）文件，并且此标准应生成为技术规范，而非国际标准。

    此次年会的主要任务是成立三个WG（工作组），由秘书长Jurgen Eisenreish先生为三个WG指定了召集人。WG1 真空泵：召集人是德国的Karl-Heinz Bernhardt先生，从属于德国Pfeiffer真空公司；WG2 真空测量装置：召集人是德国的Karl Jousten博士，从属于德国国家计量学院（PTB）；WG3 真空部件：召集人是日本的平田正宏教授，从属于日本产业技术综合研究所（AIST）。同时，PT1纳入到WG1中，PT3纳入到WG2中，PT2、4、5均纳入到WG3中，TC 112内的所有成员在会后3个月内向对其感兴趣的WG提交专家名单。

    年会的另一主要议题是确定2006年的“新工作项目建议”：

    （1） Karl-Heinz Bernhardt先生在起草的ISO/DIS 21360标准中对真空泵性能测量方面许多技术指标及尺寸均做了大幅变动，且此标准又是做为一项基础标准为其它特殊真空泵来参照，因此他建议扩大WG1的工作内容，同时修订多项有关真空泵性能测量的标准，涉及到ISO 1607-1/2　容积真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率（抽速）的测量/第2部分：极限压力的测量、ISO 1608-1/2　蒸汽流真空泵 性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量/第2部分：临界前级压力的测量、ISO 5302　真空技术－涡轮分子泵－性能测量方法等5项标准。

    日本平田正宏教授认为ISO/DIS 21360刚转入FDIS阶段，各国专家、使用者及生产商都需要一段时间来理解、消化吸收，而提议修订的5份标准中，ISO 5302也刚刚通过成为ISO标准，且其余4份在近几年也正处于广泛的宣贯使用中，同时扩大修订不利于标准的有效采用，且工作量也相当大，建议仅优先修订ISO 1607-1/2，其余3份标准暂且搁置于中期再进行修订。平田正宏教授的意见得到中国代表和其余代表的支持并通过。

    （2）平田正宏教授提出一项有关“涡轮分子泵安全使用指南“的新建议。日本专家提出实例证明涡轮分子泵在2000L/s的转速下，转子会产生很大的轴向惯性矩（大约0.02Kg/m2），如果转子出现意外在3 ms内停止，会产生强大的扭矩（大约25000N. m），最坏的情况下足够摧毁泵壳体及设备，危害性很大。日本国内在此方面已制定了标准。平田正宏教授建议为了人员的安全应制订此标准并将标准要求所测定的数据添加到涡轮分子泵的使用手册中。但他以此内容应纳入到ISO 5302中、提议对ISO 5302进行修订的意见遭到了与会代表的反对。秘书长Jurgen Eisenreish先生表示此草案可选定一个新标准号来起草而不用修订ISO 5302，将该建议纳入到WG1中。

    （3）KRISS（韩国标准科学研究院）的洪承秀博士提出3个新建议：

    ①因四极型残余气体分析仪（RGAs ）普遍用于实验室HV或UHV真空系统的真空测量。它们的使用对真空设备的过程监测和检漏也是非常重要的。但是，使用RGAs 测量分压要比采用全压真空计测量压力困难的多。为了合理使用RGAs 或精确测定分压，最好提出一种适当的测试和校准方法。因此他提出一个四极残余气体分析仪测试过程做为国际标准的新工作项目；

    ②因阀门的制造商在他们的目录中提供真空阀门的技术数据，而最终使用者又毫无疑问的按这些数据选择阀门，这些技术数据的准确性对使用者来说就是至关重要的。但迄今为止，还没有一份国际标准对真空阀门的测试安装、过程及结果表述给予规定，即使象漏率这样的基本数据也没有。因而他建议制定国际标准“测定真空阀门特性的测试过程”来规定真空阀门真空特性的测试装置、方法和过程。

    ③热阴极电离真空计普遍用于高真空和超高真空装置。对于用热阴极电离计进行的精确高真空测量有许多重要影响。对于一个可靠的由电离真空计进行的低压力测量来说，他提议制定国际标准“高真空热阴极电离真空计的测量过程”来给予正确的指导和标准方法。

    KRISS（韩国标准科学研究院）的Yong Hyeon Shin博士提议，因真空应用设备的发展，普遍使用大型真空系统，就需要较大尺寸的联接器，而且现在在许多领域已广泛使用。尤其是在半导体和显示屏的生产中，许多联接器由于尺寸不同在使用中带来许多问题。因此她建议修订1974年和1980年制定的标准ISO 2861-1/2　真空技术－快卸联接器－尺寸－第1部分：夹紧型　（1974）/第2部分：拧紧型（1980），通过在调查中获得的相关信息，加大联接器的尺寸。

    （4）Karl Jousten博士认为技术规范TS 3567 "真空技术 – 真空计 – 直接与标准真空计比对校准",已发展为规定了在通过与标准真空计直接比对进行真空计校准时需要满足的物理条件、技术条件和计量条件。从描述的条件中可知如何设计一个能以适当的方式进行真空计校准的装置。TS 3567　逻辑上的拓展是对使用按TS 3567组装的装置进行校准所得结果的不确定度评估做指导。与结果本身同时存在的校准结果的不确定度是校准中最重要的参数。它是决定校准质量的因素。为了在世界范围内对不确定度评估有个可比较的结果，有必要通过标准来协调它的测定。因此他建议制订新标准“真空技术– 真空计 – 与标准真空计直接比对校准所得结果不确定度的评估”。

    在本次大会上中国代表申请加入了WG1工作组中，并愿意派出专家参加并配合WG1的工作。

    本次大会达成如下决议：

    1.先前所通告的议程被采纳。

    2.提议任命Friedrich Justen先生担任下一届主席。

    3.Karl Jousten 自愿负责记录会议决议。

    4.BSI（英国标准协会）和AFNOR（法国标准化组织）提名编辑委员会专家。

    5.TC112项目负责人也应作为编辑委员会委员。

    6.对ISO/TC5、TC131/SC2和TC146三个通讯成员进行审定，如果仍不积极参加ISO活动，将取消其通讯成员资格。

    7.应保持与TC10、TC118和TC135的通讯联系。

    8.应保持与CE－Commission（通信委员会）、CERN（欧洲粒子物理研究所）、IUVSTA（国际真空科学，技术与应用联合会）和PNEUROP（欧洲测试标准）的通讯联系。

    9.应取得与AVS（美国真空学会）、CIPM（国际计量委员会）的CCM（质量及相关量咨询委员会）的通讯联系。

    10.将ISOTC201表面化学分析委员会视为一个可发展的通信成员，与其建立联系。

    11.秘书处工作报告被采纳。

    12.2005年12月5日生成的含有所有赞同意见、并在项目组会议上通过的ISO/DIS N256C（ISO/DIS 21360）新版本应承送TC112编辑委员会和ISO，登记为FDIS文件。

    13.2005年12月5日生成的含有所有赞同意见、并在项目组会议上通过的ISO/DIS N256（ISO/DIS21358）和ISO/DIS N253（ISO/DIS9803）新版本应承送TC112编辑委员会和ISO，登记为FDIS文件。

    14.ISO/WD3669应成为技术规范，而不是ISO标准。

    15.同意将ISO/WD3669真空技术-可烘烤法兰-第2部分：刀口法兰尺寸作为CD文件。

    16.TC112下一步工作将组成三个工作组：WG1真空泵；WG2真空测量装置；WG3真空部件。

    （17）任命工作组召集人：WG1 Karl-Heinz Bernhardt先生；WG2 Karl Jousten博士；WG3 Masahiro Hirata教授。

    17.先前的PT1成员作为WG1成员；PT3成员作为WG2成员；PT2、4、5成员作为WG3成员。

    18.在随后的三个月内，TC 112的所有成员应为其感兴趣的工作组指定专家。

    19.遵照ISO/TC112N264A文件，下一步工作项目将按适时的顺序开始，A（立即开始工作）；B（中期开始）；C（长期）。

    20.秘书处将会更新商务计划。

    21.美国国家标准化学会（ANSI）建议2006年ISO/TC112大会在美国召开美国真空协会（AVS）会议期间同时召开，此建议被欣然接受且有待确认。

    22.以上决议均被采纳。

    二、实地参观考察

    12月7日与会代表受邀参观了KRISS（韩国标准科学研究院）下设的真空技术中心，以及韩国Songwon爱德华有限公司和韩国三星电子公司。

　　1、KRISS（韩国标准科学研究院）

    KRISS（韩国标准科学研究院）始建于1975年，是韩国标准系统的权威中心。KRISS一直致力于本国经济发展，通过发展和宣传做为所有科技活动基础的国家测量技术在科技发展中起到了支柱作用。目前，KRISS在1709个领域内测量、测试方面拥有世界级国家标准。为了加强韩国在汽车、船舶、电子应用、半导体等类行业的竞争力，KRISS向包括工业、科技协会和一般团体在内的用户提供测量标准服务。

    设在KRISS物理度量衡部门的真空技术中心主要职能是，建立和维护国家真空标准、向行业推广国家标准并进行相关研究、跟踪国际真空标准并与国际上其它标准进行比对、为用户提供高质量的服务。

    在韩国与真空有关的市场份额约60亿美元，其中90%以上是进口真空设备。真空技术在半导体、纳米技术、航天技术、能源等高科技领域中有着广泛的应用和需求。基于国家质量系统及基础真空技术的需要，为了促进韩国真空技术领域的发展，也为了获得可靠的技术数据和性能参数分析做为依据，韩国“真空技术中心”应运而生。为此，韩国提出了真空技术的国家发展规划，从1999年至2007年8年间将由韩国科学技术部负责投资1600万美元，由国家标准科学研究所真空技术中心负责实施，建立完善的、高标准的真空标准和校准体系。

    真空技术中心的发展目标是建立有关真空技术的性能评价系统，建立和维护真空泵、真空测量仪器、真空器件、真空材料、真空工艺处理系统的评价系统，使国内的真空获得水平进一步提高；提供与国际质量标准一致的实验数据和测试证书；建立有关真空技术的数据库；制定和发布真空技术信息；为韩国真空技术应用单位服务。

    目前真空计量中心建立了17项性能评价系统，可对72项参数进行测试，其中包括真空泵的性能评价系统、真空测量仪器性能评价系统、真空器件性能评价系统、真空材料的性能评价系统以及真空工艺处理系统的分析研究。通过各种真空测试设备的建设，提升了韩国的真空技术水平，并为社会提供了可靠的技术数据。

    真空技术中心广泛地开展了与工业部门、大学、研究所的合作，并为其提供真空设备的校准和检测服务。

    真空技术中心拥有多方面、多层次的精良设备，如：

    ——低真空标准系统（超声波干扰仪）：1x105 - 0.1 Pa真空标准系统（动态校准系统）、.1 - 1x10-4 Pa、1x10-5 - 1x10-8 Pa超高真空标准系统（带有多孔塞的动态校准系统）；

    —— 标准检漏系统：1x10-5 cc/s ；1x10-8 cc/s（正建设中）放气测量装置、alzers四极质谱仪420(0-300 amu, 5x10-8Pa)；

    —— 解吸能谱学：电阻加热系统、丝状加热系统；

    —— 检漏仪：扇形磁铁2x10-10 std-cc/s；

    —— 表面分析设备：电子枪－LEG1000、离子枪-EX05；

    —— 真空特征性评估验证系统：真空泵特征性评估系统（抽速、极限压力）、真空测量评估系统（线性、可重复性、气体敏感性）、真空配件评估系统（阀门、O型圈、检漏）、真空材料评估系统（放气、沸点、蒸汽压力）、真空系统和工艺评估系统等。

    除了以上建立的评价系统，真空技术中心还不断开拓新的研发项目，主要有：

    —— 低真空、高真空、超高真空国家标准的建立。

    —— 压力和真空标准的关键性比较：低真空（1999.05），超高真空（2001.02）。

    —— 重力的研究和测量：绝对重力测量系统的研发，重力的相对测量研究。

    —— 等离子体使用工艺的研发：等离子体蚀刻系统内污染物的分析，等离子体操作状况、放气和污染率的交叉关系研究，等离子体操作气体种类、气体构成及反应堆的研究。

    —— 真空材料表面处理研究：真空材料化学处理、电解抛光、放电清洗的研究，表面处理及B、Tin、BN镀膜的分析。

    —— 热吸收光谱分析：关于标本变化的放气分析研究。

    —— KSTAR核聚变项目合作：真空抽气系统研发，燃油喷射系统研发。

    目前真空技术中心为社会提供的主要服务有：

    —— 校正、测试和评估：范围1 GPa真空传感器的校正和测试，元件测试和评估，动态、微分、绝对和高压力传感器的校正。

    —— 量程从大气压到1x10-8 Pa的真空压力计：真空泵性能测试，检漏仪和标准漏孔的校正和评估，真空材料和元件的放气测试和评估。

    真空技术中心内精良的仪器设备、完善的标准系统、精湛的工艺水平令我们惊叹和钦佩。韩国在短短的几年中，真空技术如此突飞猛进，取得如此之高的水平，不由得不令我们为之刮目相看。

    如今，真空技术的应用领域已十分广泛，不但应用于航空、航天、高能物理、可控热核聚变、表面物理、半导体、微电子等尖端科学研究领域，还用于电气、化学、光学、精密机械、冶金、汽车、核能、制冷、建筑、医学、制药、运输、食品、包装、玩具、装饰、日常用品等众多的工业领域和服务行业。韩国政府由于认识到真空技术对各行各业异常的重要性，因此加大科研技术力量和真空技术基础研究的投入，取得了今天令人瞩目的成果。

　　2. Songwon爱德华有限公司

    Songwon Edwards公司隶属于BOC集团公司，是一家为微电子设备（包括半导体和平面显示器）制造商提供综合解决方案的领先供应商。BOC爱德华公司与晶圆厂、铸造厂及加工工具制造商合作提供电子原材料和加工工具子系统，并为其全球客户提供业界最佳的操作和维修服务支持。

    Songwon Edwards Ltd. (SEL) 自1988年以来一直对外出口真空泵，2004年出口额超过一千二百美元，为此韩国政府特颁发“Export Tower”以表彰其2004年出口额突破千万美元大关的成绩。

    SEL主要出口产品是大型干式真空泵和干式真空系统，用于平面显示器和半导体制造工业。11月份，SEL兴建的1500平方米的 Chunan厂区峻工。除了生产iF1800真空泵外，2005年2月开始为平面显示器行业生产diFxx真空泵系统。该系统采用了一项整合模块方式，从而使得使用的真空模块数量最优化，进而获得更低运行成本。同时，SEL将其生产能力由原来每月80台提升到月产量200台。

　　3.韩国SAMSUNG电子

    目前的三星集团是韩国第一大企业集团，旗下有3家公司进入世界500强企业。三星营业额就占韩国GDP的30%左右，其出口商品占当年韩国总出口量的20%。如果要和中国的企业比较的话，三星的规模要比海尔大十多倍。

    1993年，李健熙会长提出了以质量管理和力求变革为核心的“新经营”管理原则，彻底改变当时盛行的“以数量为中心”的思想，而且强烈的危机意识促使三星进行了事业结构、人才培养、产品设计和生产、流程控制等各个方面的变革，从而成功克服了亚洲金融危机，并在国际市场上脱颖而出，成为亚洲经济的奇迹。通过1993年到2003年10年的“新经营运动”，三星成为韩国的第一大企业集团。在这10年中，三星的销售额增长了3.4倍，而资产负债率却从291%降低到了68%。

    在SAMSUNG的展览厅中，SAMSUNG向人们展示了其高尖端的电子产品：CDMA手机、CDMA系统、激光打印机、TFT-LCD显示器等通讯及办公产品；半导体(IC、TR)、34英寸纯平显像管等核心零部件；背投大屏幕电视、DVD、家庭影院等AV产品；数码相机等光电子产品；大型双开门冰箱、中央空调及柜式空调等白色家电产品，令人眼花缭乱，不由得惊叹SAMSUNG走于时代前沿的技术。

    三、参加国际标准化会议的收获和体会：

    1、随着国际标准在国际市场竞争中重要性的日益显现，美国、日本和其他欧洲以外的国家已经认识到欧洲国家正在利用国际标准所建立起来的技术壁垒的严峻性，也积极地参与到国际标准工作中来。过去对国际真空标准并不感兴趣的美国如今也积极参加会议，提出意见，积极承办ISO技术委员会年会。不是TC112成员的泰国，这次也派代表参加了会议，并向我们表达了加强联系，沟通信息的愿望。

    2、积极参与国际标准化活动，参加国际标准的制、修订对我国真空行业的发展带来的好处和机遇是显而易见的。“入世”给我们参与国际标准化活动带来了的空前机遇，作为世贸组织的成员国之一，这不仅是我们应尽的义务，而且也有利于提高我们的技术和管理水平，有利于突破他国技术壁垒，有利于我们参与国际化生产分工和全球贸易竞争。同时通过参加国际标准制修订工作，还可以了解国际上相关产业发展的最新动态，有利于将我国技术标准纳入国际标准。国际标准一旦发布，再要求修改是非常困难的。

    参加国际会议还可以了解最新的产品加工技术和市场变化方向，与国外专家及跨国企业建立联系。

    3、几十年来，在国际真空界，韩国的真空实力一直排在中国之后，但是近几年韩国政府加大对真空工业的支持力度，重视基础研究，使其真空技术水平迅速提高。有了较强的经济实力，此后，韩国真空技术中心积极参与国际标准化活动，承办国际会议、负责起草ISO标准，在国际标准的制修订中扩大了影响，使国家受益。

    中国近几年反而削弱或取消了真空技术的基础研究，多年来整个真空工业的发展失去了新技术和基础研究的支持，发展缓慢。原有的真空设备的检验、校准系统因为没有投入而陈旧老化。由于十几年没有参加国际标准会议，在国际标准的制修订中，中国的声音得不到重视。参加本次会议使我们感到了前所未有的压力。

    4、参加本次会议使我们了解了国际会议的会议模式，更清楚了在国际标准的制定过程中每个阶段应如何进行参与，如何逐步的将我国国家标准纳入国际标准中。同时我们结识了ISO/TC112秘书长Jurgen Eisenreish先生和其他各国的真空标准界同仁，得到许多信息。会上中国申请加入了WG1工作组，为我国更进一步的参与国际标准化活动迈出了重要的一步。

    ISO/TC112秘书长Jurgen Eisenreish先生非常希望中国能申请召开年会。由于种种原因，在本次会议上我们没有申请主办年会，但我们相信Jurgen Eisenreish先生的愿望不久的将来一定会实现。

                                            全国真空技术标准化技术委员会秘书处
                                                      2005年12月22日