|
本标准是对GB/T 11446.9-1997《电子级水中微粒的仪器测试方法》的修订，主要参考了ASTM D5127-99《电子及半导体工业用超纯水标准指南》、ASTM D4453-02《超纯水样品处理技术准则》、ASTM D1129-02a《与水相关的术语》、ASTM D1193-99《试剂水标准规范》等标准。
本标准与GB/T 11446.9-1997《电子级水中微粒的仪器测试方法》相比，主要有下列变化：
1、 重新对“微粒”进行了定义
2、 对相关试验条件进行了调整。
3、 修订了Pi的定义。
本标准由中华人民共和国信息产业部提出。
本标准由中国电子技术标准化研究所归口。
|
